刀具前角对单晶硅超精密加工表面质量的影响

王明海; 王福宁; 王奔; 刘琪; 尤思尧

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沈阳航空航天大学学报 ›› 2020, Vol. 37 ›› Issue (4) : 40-46.

机械与材料工程

刀具前角对单晶硅超精密加工表面质量的影响

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Effect of tool rake angle on surface quality of single-crystal silicon during ultra-precision machining

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Received	Revised	Published
2019-11-19	2019-12-16	2020-08-25
Online Date
2020-08-25

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